Microelectronics processing - inorganic materials characterization

Författare
American Chemical Society Lawrence A. Casper
(Lawrence A. Casper, editor., Developed from a symposium sponsored by the Division of Industrial and Engineering Chemistry of the American Chemical Society)
Genre
Konferenser, Ej skönlitteratur, Konferenspublikation, Bibliografi
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
ACS 1986 USA, Washington, DC x, 443 sidor. diagr., ill., tab.